CNC-Bearbeitung für die Halbleitertechnik
Ultrapräzise Komponenten für Hersteller von Halbleiteranlagen. Enge Toleranzen in Aluminium, Edelstahl und technischen Kunststoffen.
Teile für Halbleiteranlagen
KGL fertigt ultrapräzise Komponenten für Hersteller von Halbleiteranlagen. Unsere fünfachsigen Mazak-Zentren und das Hexagon-Koordinatenmessgerät (0,0015 mm Genauigkeit) erreichen die geometrische Präzision und Oberflächengüte, die Halbleiteranwendungen verlangen.
Typische Teile
- Kammerkomponenten und Abschirmungen
- Elektroden- und Focus-Ring-Komponenten
- Präzise Montageplatten
- ESD-kritische Komponenten aus leitfähigen Kunststoffen
Werkstoffe
Aluminium (6061-T6, 7075), Edelstahl (316L, 17-4PH), PEEK, PEEK1000, PEI, ESD225, ESD420 und leitfähiges Nylon.
Beleg an der Toleranzgrenze
Im Jahr 2025 lieferte KGL ein Kernpräzisionsteil aus SUS304 für eine Halbleiterfertigungsanlage, gefertigt für den weltweit führenden Hersteller von Lithografieanlagen: Bauraum 150 x 45 x 6 mm, dünnste Wand 0,3 mm, Oberflächenganforderung Ra 0,4 µm, Ebenheit, Position und Koaxialität alle innerhalb von 0,01 mm, dazu Mikrobohrungen von 0,1 mm Durchmesser. Das Teil bestand die vollständige Maßprüfung auf unserem Hexagon-Koordinatenmessgerät. Im Anwendungsbeispiel Dünnwandteile beschreiben wir, wie wir Wärme- und Spannverzug bei solchen Teilen beherrschen.
Fragen, die Einkäufer vor der ersten Bestellung stellen
Wie dünn können Sie Edelstahlwände fertigen?
Für den weltweit führenden Hersteller von Lithografieanlagen lieferten wir SUS304-Teile mit 0,3 mm Wandstärke im Bauraum 150 x 45 x 6 mm, Ebenheit, Lage und Koaxialität innerhalb von 0,01 mm.
Wie genau messen Sie?
Hexagon-Koordinatenmessgeräte mit 0,0015 mm Genauigkeit prüfen jedes kritische Maß, gestützt auf über 20 Präzisionsmessgeräte.
Bearbeiten Sie ESD-sichere Kunststoffe?
Ja. ESD225, ESD420, leitfähiges Nylon, PEEK und PEI für ESD-empfindliche Komponenten.
Erreichen Sie Ra 0,4?
Ja. Die genannten SUS304-Teile wurden mit Ra 0,4 µm geliefert; Schleifen und Finishing laufen im Haus, ohne die Bezugskette zu verlassen.
Unterschreiben Sie NDAs vor Zeichnungsprüfung?
Ja, eine Standard-Vertraulichkeitsvereinbarung ist vor jeder Zeichnungsübergabe möglich.
Lieferzeit für Halbleiterbauteile?
Angebot in 24 Stunden; Prototypen üblich 5 bis 7 Werktage, länger bei Mehrprozessrouten mit Schleifen oder EDM.
Haben Sie ein Projekt in dieser Branche?
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